公司简介
深圳丰盛装备股份有限公司（原深圳市大族光伏科技股份有限公司）成立于2010年1月，注册资金5000万元，由一批一流的资深光伏设备专家创办，其核心团队成员多具有十五年以上的从业经历， 曾参与了国内市场一半以上扩散炉和PECVD设备的研发、生产及调试工作，有深厚的太阳能光伏设备及工艺研发生产经验，熟悉晶体硅太阳电池制造工艺相关设备国际技术发展的最新动向，和业内众多知名企业有长期紧密的合作关系，深知国内客户的技术发展需求。 秉承“创新、高效、诚信、和谐”的发展方略，大族光伏旨在融合最先进的量产工艺技术，以持续创新领先的技术和国产设备的价格为客户提供高质量的、国际先进水平的高端光伏设备，在相关制造环节进一步提升太阳电池转换效率，助推客户站在行业发展的技术前沿，提高技术和市场竞争力，为客户创造更大的价值。
2010年丰盛装备凭着良好的客户美誉、业内领先的技术实力和全方位的综合优势，实现了当年研发、当年进入市场、当年批量生产的行业奇迹，用户遍布全国。产品以领先的技术、精良的做工、尖端的配置和稳定的质量广受客户欢迎和好评，使国产光伏装备的技术水平又向前迈进了两年，进入了全新一代，一举树立了国产光伏设备的高端形象。
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公司位置
- 地址：
-
深圳市宝安区福海街道凤塘大道606号中京智云科技园A栋二楼
- 地铁：
- 深圳/11号线(机场线)/塘尾站
- 商圈：
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未标注
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产品介绍
扩散炉：
◆设备用途
本设备主要用于8英寸硅片以下太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊热处理。
◆产品亮点
唯一能适应高阻高效和变浓度扩散工艺的国产设备
领先国内同行的实际扩散均匀性
扩散综合使用成本较上一代设备降低20%以上
单位综合能耗下降20%以上
设备有效工作时间较其他国产设备高5%以上
◆主要技术参数
序号
指标项目
指 标 值
1
反应管有效内径
?290～?320mm（适用于 □125mm，□156mm）
2
生产能力
≥420片/批/管，2～4管/台
3
工作温度范围
400～1100℃
4
温度控制方式
5段控温，高精度双模控制
5
恒温区长度及精度
≤±0.5℃/1100mm（800~1100℃）， ≤±1℃/1100mm（400~800℃）
6
温度稳定性
≤±0.5℃/4h.（880℃）
7
温度斜变能力
自动可控升温速率：≥20℃/min.，高效快速降温
8
装载台及净化
自动软着陆，垂直层流， 100级（1000级厂房）或1000级(10000级厂房)
9
送舟方式
SiC悬臂桨自动水平送舟，20～1000mm/min.无级调速
10
气体控制方式
MFC精确控制
11
压力控制方式
闭环全自动
12
工艺控制方式
全自动，PLC+工控机，触摸屏操作
PECVD:
◆设备用途
等离子增强型化学气相淀积（简称PECVD)，用于太阳电池制造过程中在硅片表面淀积减反射氮化硅膜（SixNy)，同时利用在淀积过程中产生的活性H+离子，对硅片进行钝化处理。
◆产品亮点
单管产能全球最高
业内独有、领先的压控/温控技术，最成熟的工艺支持
国产设备中唯一可媲美世界一流设备的成膜均匀性和表面色差
设备有效工作时间较其他国产设备高5%以上
自动上下料系统中国内唯一采用进口精密直线单元
◆主要技术参数
